最終更新日:
2023-12-21 11:26:27.0
試料全体の変化を観察する技術や知見を集積！安全に駆動することが求められます
当社では、試料に生じる「反り」や「うねり」の様子を分析し、評価する
体制を、愛知県豊明市の"名古屋品質技術センター"と、大阪本社に整えました。
-60〜350℃の温度下において、μmスケールでの反り計測が可能な
「TDM COMPACT3」、常温で試料全体をスキャンし、3D画像として
表示する「VR-5000」を用いています。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
【TDM COMPACT3 仕様(一部)】
■計測方式：プロジェクション・モアレ式
■最大サンプルサイズ：515mm×370mm×115mm
■測定精度：±1.5μmもしくは測定値の2％(どちらか大きい方)
■反り(Z)分解能：1μm
■空間分解能(X,Y)：5～150μm(測定視野による)
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【VR-5000 仕様】
■メーカー：キーエンス
■高さ測定：表示分解能0.1μm
■高さ測定範囲
・Z連結なし/低倍(広視野)：10mm・高倍(高解像度)：1mm
・Z連結あり/低倍(広視野)：50mm・高倍(高解像度)：30mm
・繰り返し精度σ/Z連結なし：0.4μm＊1・Z連結あり 1.0μm＊1
・正確さ/Z連結なし ±2.5μ＊1・Z連結あり ±4.0μm＊1
■幅測定
■繰り返し精度σ/低倍 (広視野)：1μm、高倍(高解像度)：0.5μm
■正確さ/低倍 (広視野)：±5μm、高倍(高解像度)：±2μm
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