株式会社クオルテック

【導入事例】高分解能観察と分析機能の両立を実現したFE-SEM

最終更新日: 2024-07-09 10:41:12.0
最大200nAの照射電流は、各種マイクロアナリシスに対応!分析能力も強化

広視野全体像から表面微細構造まで、短い時間で多くの情報を取得できる
「FE-SEM」を導入した事例をご紹介いたします。

表面微細構造、組成、結晶学的情報、形状情報など多彩な
イメージング能力を装備。

複数の二次電子信号や反射電子信号が同時に取得でき、これまでより
短い時間で多くの情報を得られるようになりました。

【事例概要(抜粋)】
■導入製品:HITACHI製SU7000
・電子源:ZrO/Wショットキータイプエミッター
・二次電子分解能:0.8nm(加速電圧 15kV)、0.9 nm(加速電圧 1kV)
・加速電圧:0.1~30kV
・倍率:20~2,000,000倍(装置スペック)

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