「3D形状測定(3Dマクロスコープ・レーザ顕微鏡)」では、試料に光を
照射し、非接触で3D測定を行います。
基板の反り、平面度計測、部品や面の形状測定(高さ・角度・半径 等)
が測定可能。製品の形状仕上がり検証、実装基板の実装品質へ寄与します。
測定例には、反り測定(基板)、寸法測定(金属部品)、レーザ顕微鏡
による平面度測定(ワッシャ)がございます。
【設備紹介:3Dマクロスコープ(一部)】
■設備名・型番:ワンショット3D形状測定機 VR-5200
■メーカ:KEYENCE
■XY可動範囲:184mm×88mm
■Z可動範囲:73mm
■表示分解能:0.1µm
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【その他の設備紹介:3Dマクロスコープ】
■繰り返し精度:幅測定1µm、高さ測定(Z連結有り)1.0µm
■正確さ:幅測定±5 µm、高さ測定(Z連結有り)±4.0µm
■制約
・光が当たらない箇所・陰になる範囲・真っ黒な試料・透明試料は測定不可
・鏡面となる金属はノイズ発生の恐れあり
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【測定例】 ■反り測定(基板) ■寸法測定(金属部品) ■レーザ顕微鏡による平面度測定(ワッシャ) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
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