最終更新日:
2024-04-05 13:39:24.0
ラジカルやイオンを検知し変色する評価ツール！これまで工数のかかってた肯定もスムーズになり導入の負担も大きくありません！
【こんな状況ではありませんか？】
様々な分野で利用が進む中で・・・
・処理効果はきちんと確認できていますか？
・レシピ開発はスムーズですか？
・装置メンテナンス後の調整に手間がかかっていませんか？
・工程管理に困っていませんか？
・お客様からプラズマ処理品質のエビデンスを求められていませんか？
『プラズマインジケータ(TM) PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。
プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。
変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。
また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計が必要です）。
★無料でサンプル進呈しております。お気軽にお問い合わせください。
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報
【サンプルご希望の方は適切な商品を選定させて頂きますので、下記質問にご協力お願いします】
♦プラズマを使う環境を教えてください。
１．真空（減圧）
２．大気圧
♦プロセス温度を教えてください。
１．100℃以下
２．100～200℃
３．200℃以上
♦プロセスガスを教えてください。
１．アルゴン
２．酸素
３．それ以外
※どうぞお気軽に、サンプルお申し付けください。
| 価格情報 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ◆工程管理の効率アップ ◆機差把握 ◆分布測定 ◆装置の定期点検 など 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
詳細情報
デスミア用（開発中）
デスミア用も開発中（写真の色、形状やサイズは最終のものではありません）
デスミア用も開発中（写真の色、形状やサイズは最終のものではありません）
ウエハ型（開発中）
ウエハの表面にインジケータを焼成しているので、ウエハと同じハンドリングて設置できます。（写真の色は最終品と異なる場合があります）
ウエハの表面にインジケータを焼成しているので、ウエハと同じハンドリングて設置できます。（写真の色は最終品と異なる場合があります）
お問い合わせ
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株式会社サクラクレパス PI事業部
