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プラズマ処理効果評価ツール『PLAZMARK 耐熱性』

最終更新日: 2024-04-05 13:39:24.0
高温プロセスに最適なプラズマインジケータ!ラベル型でも高い耐熱性を実現!

『PLAZMARK 耐熱性』は高温プロセス向けプラズマ処理効果の評価ツールです。

色材に無機材料、機材にポリイミドを採用。
ラベル型でありながら200℃の高い耐熱性を実現します。

フレキシブル性、接着性に優れているため基板表面や装置内に
自由に貼り付けることができます。

【構成】
■保護フィルム
■検知部(変色色材)
■基材(ポリイミド)
■剥離フィルム

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報

【仕様】
■対応ガス:Ar、O2、H2、CF4、SF6、Cl2
■感度:No.101(高感度)、No.102(低感度)
■構成
 本体:ポリイミド
 検知部:無機色材、レジン
■サイズ
 本体:16 mm×25 mm×80μm
 検知部:φ10 mm
■入数:10枚

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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