最終更新日:
2024-04-05 13:39:24.0
高温プロセスに最適なプラズマインジケータ!ラベル型でも高い耐熱性を実現!
『PLAZMARK 耐熱性』は高温プロセス向けプラズマ処理効果の評価ツールです。
色材に無機材料、機材にポリイミドを採用。
ラベル型でありながら200℃の高い耐熱性を実現します。
フレキシブル性、接着性に優れているため基板表面や装置内に
自由に貼り付けることができます。
【構成】
■保護フィルム
■検知部(変色色材)
■基材(ポリイミド)
■剥離フィルム
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【仕様】
■対応ガス:Ar、O2、H2、CF4、SF6、Cl2
■感度:No.101(高感度)、No.102(低感度)
■構成
本体:ポリイミド
検知部:無機色材、レジン
■サイズ
本体:16 mm×25 mm×80μm
検知部:φ10 mm
■入数:10枚
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