最終更新日:
2024-04-05 13:39:24.0
普段と同じハンドリングで装置に設置!面内分布を簡単に可視化
『PLAZMARK ウエハ型』はウエハプロセス向けの
プラズマ処理効果の評価ツールです。
ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることで
簡単に面内分布の可視化が可能。
基板サイズや材質、変色感度は要望に応じて対応します。
【特長】
■無機色材の採用で清浄性を確保
■放出ガスを極限まで低減
■400℃の耐熱性
■基板サイズ、材質は要望に応じて対応
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基本情報
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