『PLAZMARK O2クリーニング用・Arクリーニング用』は、
実装工程や後工程向けのプラズマ処理効果の評価ツールです。
「O2クリーニング用」はラジカル性のプラズマ検知に好適。
UV洗浄やUVオゾン洗浄にも適用できます。
「Arクリーニング用」は、アルゴンプラズマに代表される
イオン性の強いプラズマに対して変色感度がある色材を用いることで、
クリーニングや前処理工程の処理効果の評価に使用できるプラズマ
インジケータです。
一種のみであった「Arクリーニング用」の変色感度に、高感度タイプの
インジケータを商品化。
これにより、これまで評価が難しかったソフトなArプラズマ処理や短時間処理
でもご使用頂くことが可能となりました。
当冊子では、プラズマ中の活性種(ラジカル・イオン)により変色する
機能性色材を用いた評価ツールのプラズマインジケータ「PLAZMARK」を
マンガでわかりやすく解説しています。
基本情報
【仕様】
[PLAZMARK O2クリーニング用]
■対応ガス:O2をはじめとするラジカル主体のプラズマ用
■感度:高感度
■形状:カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性:100℃
■構成:本体 PETフィルム、検知部 有機色材、レジン
■サイズ:(カード・ラベル)本体 20×70×0.2mm、検知部 φ11mm
(シート)本体 210×297×0.2mm、検知部 190×290mm
[PLAZMARK Arクリーニング用]
■対応ガス:Arをはじめとするイオン主体のプラズマ用
■感度:高感度
■形状:カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性:100℃
■構成:本体 PETフィルム、検知部 有機色材、レジン
■サイズ:(カード・ラベル)本体 20×70×0.2mm、検知部 φ11mm
(シート)本体 210×297×0.2mm、検知部 190×290mm
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