最終更新日:
2024-01-18 10:33:31.0
作業効率化やコスト削減を実現！目に見えないプラズマ処理の効果を、色で見える化した評価ツール！
照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、
プラズマ処理効果の評価ツール(プラズマインジケータ)「PLAZMARK」をマンガでわかりやすく解説した冊子を進呈中！
使い方や仕組み、一般的な評価方法との違いのほか、
常圧処理工程・洗浄工程向け、実装工程・後工程向け、デスミア処理向け、
高温プロセス向け、ウエハプロセス向けなど豊富なラインアップも紹介しています。
★本マンガ資料はダウンロードボタンよりすぐにご覧いただけます。
【「PLAZMARK」の特長】
■「色」で簡単に評価が可能。面内分布評価が容易
■高額な設備が不要。評価時間の短縮を実現
■機差や均一性をチェックして効率をアップ。品質安定に貢献
※製品について詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様】
［PLAZMARK O2クリーニング用］
■対応ガス：O2をはじめとするラジカル主体のプラズマ用
■感度：高感度
■形状：カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性：100℃
■構成：本体 PETフィルム、検知部 有機色材、レジン
■サイズ：(カード・ラベル)本体 20×70×0.2mm、検知部 φ11mm
(シート)本体 210×297×0.2mm、検知部 190×290mm
［PLAZMARK Arクリーニング用］
■対応ガス：Arをはじめとするイオン主体のプラズマ用
■感度：高感度
■形状：カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性：100℃
■構成：本体 PETフィルム、検知部 有機色材、レジン
■サイズ：(カード・ラベル)本体 20×70×0.2mm、検知部 φ11mm
(シート)本体 210×297×0.2mm、検知部 190×290mm
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