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インジケータ『PLAZMARK Arクリーニング用』<カード型>

最終更新日: 2024-04-05 13:39:24.0
イオン性のプラズマ検知に最適化!気になる箇所に手軽に設置できるカード型

『PLAZMARK Arクリーニング用』は、O2クリーニング用では
検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できる
カード型のインジケータです。

ArやHeなど、O2クリーニング用では検知しにくい
イオン性のプラズマを効率よく検知可能。

ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの
混合系では、O2クリーニング用のほうが適しています。

【特長】
■イオン性のプラズマ検知に最適化したインジケータ
■目的に合わせてお選びいただける3形状
■半導体の後工程など幅広く使用可能

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【仕様(一部)】
<No.20(超高感度)>
■耐熱性:100℃
■構成
・本体:PETフィルム
・検知部:有機色材、レジン
■サイズ
・本体:20×70×0.2mm
・検知部:φ11mm
■入数:100枚
■略号:PLC0207-20

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■めっき前の表面改質
■ワイヤーボンディング・フリップチップボンディングなど接合面の表面改質
■部品実装後のアンダーフィル前クリーニング
■LSI、メモリ、MEMS、LEDなど電子デバイスの封止前のクリーニング

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