株式会社セムテックエンジニアリング

2-2 樹脂支柱電子顕微鏡(SEM)写真

最終更新日: 2018-09-12 13:47:11.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

基板上にマスクを重ね露光すると樹脂支柱が立ち、メッキすると逆形状の穴ができます
・露光の際に使用するフォトマスクの設計により 任意の穴形状にする事ができます
・フォトマスクを設計の際 光が通過するパターン部をネガにするかポジにするかで 同じ形状の穴になったり微細部品にすることができます
・数10μmの板厚に高精度な微細穴を『狭ピッチで 加工』することは他の工法では不可能です

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