上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
精密加工工具専用装置から大型金型対応の大型量産タイプまで豊富なラインアップ！
『アーク放電型イオンプレーティング装置』は、極めて緻密で平滑な
硬質膜を形成できるイオンプレーティング装置です。
独自方式によりアルゴンガスを不要とした高真空中での成膜を可能とし、
緻密で高い反応膜の形成を可能としました。
チタン系の膜の形成を主体としておりTiCやTiCNなどの高硬度の膜質と膜の
平滑さにより金型の表面処理に好適です。
自動車部品の金型の表面処理用途に豊富な実績を持っています。
装置ハードは基板の大きさ・形状や処理用によって柔軟にカスタマイズ。
精密加工工具専用装置から大型金型対応の大型量産タイプまで
豊富なラインアップを揃えています。
【特長】
■放電用ガスが不要
■平滑な硬質膜が形成可能（成膜後の研摩が不要）
■金メッキ代替の装飾膜が形成可能（金色、グレー、ブラウン）
■金属表面処理・硬質膜以外にも実績あり
（電子部品用、金属膜、酸化物膜、対応可能）
※詳しくはPDF資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
硬質膜を形成できるイオンプレーティング装置です。
独自方式によりアルゴンガスを不要とした高真空中での成膜を可能とし、
緻密で高い反応膜の形成を可能としました。
チタン系の膜の形成を主体としておりTiCやTiCNなどの高硬度の膜質と膜の
平滑さにより金型の表面処理に好適です。
自動車部品の金型の表面処理用途に豊富な実績を持っています。
装置ハードは基板の大きさ・形状や処理用によって柔軟にカスタマイズ。
精密加工工具専用装置から大型金型対応の大型量産タイプまで
豊富なラインアップを揃えています。
【特長】
■放電用ガスが不要
■平滑な硬質膜が形成可能（成膜後の研摩が不要）
■金メッキ代替の装飾膜が形成可能（金色、グレー、ブラウン）
■金属表面処理・硬質膜以外にも実績あり
（電子部品用、金属膜、酸化物膜、対応可能）
※詳しくはPDF資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
関連情報
アーク放電型高真空イオンプレーティング装置
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※詳しくはPDF資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
イットリアコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）
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電子ビームによる各種材料の蒸発とアークフィラメント式イオン化法により安定して反応膜生成膜（窒化膜・酸化膜・炭化膜）を形成。
成膜レートも反応ガス流量のみで制御。シンプルで信頼性の高いハードにより最新の成膜プロセスを提供
充実の成膜プロセス
・耐プラズマ性イットリア膜（１０μｍ）
・耐酸化性硬質膜ＳｉＣ（７μｍ）
その他従来型硬質膜 ＴｉＮ、ＴｉＣ，ＣｒＮ
その他成膜対応
お問い合わせ
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神港精機株式会社 東京支店
