上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
関連情報
簡易実験用スパッタリング装置
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【その他の特長】
■バッチタイプ
・全手動化し低コスト化
・小型基板での少量生産に充分なプロセス性能を実現
・ハードの信頼性と膜質の安定性を実現
■簡易ロードロックタイプ
・手動搬送機構を装備
・クリーンで高い真空性能
・均一な膜厚・プラズマ・加熱分布性能
・高結晶性窒化膜(AlN)や高反射率金属膜の形成が可能
・紫外LED用AlNテンプレート作成
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡易実験用蒸着装置(EM-645型)
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標準2元の抵抗加熱蒸発源を装備した全手動型蒸着装置。
Φ2~3インチウェハから特殊基板まで柔軟に対応。
蒸発源追加、同時蒸着、基板冷却・高温加熱機構等豊富なオプション
社内デモ機にてサンプルテスト対応
簡易実験用スパッタリング装置(SRV3100型)
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成膜系:φ3インチカソード 1元装備
:高周波電源 1源装備
:基板加熱機構標準装備
:排気系 拡散ポンプ&油回転ポンプ
操作系:全手動
オプション機構
磁性材用カソード コンベンショナルカソード DCバイアス
逆スパッタ機構 バイアススパッタ機構 基板高温加熱
主ポンプ変更(ターボ分子ポンプ採用)
全自動化
お問い合わせ
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神港精機株式会社 東京支店