手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種 簡易ロードロックタイプで化合物半導体量産プロセスを実現 サンプルテスト＆装置見学対応中
当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーする
シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。
全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した
簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種の
プロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。
サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を
行っています。
【特長】
■リーズナブルなコストと高いプロセス性能
■少量生産にも対応可能な高い信頼性
■豊富な実績に支えられた豊富なオプション類と柔軟なハード対応
■先端分野の薄膜開発にロードロック機構と事前成膜テストで
プロセス開発をサポート
■デモ機を常設し、サンプルテスト対応可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【その他の特長】
■バッチタイプ
・全手動化し低コスト化
・小型基板での少量生産に充分なプロセス性能を実現
・ハードの信頼性と膜質の安定性を実現
■簡易ロードロックタイプ
・手動搬送機構を装備
・クリーンで高い真空性能
・均一な膜厚・プラズマ・加熱分布性能
・高結晶性窒化膜(AlN)や高反射率金属膜の形成が可能
・紫外ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレート作成
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■バッチタイプ
・全手動化し低コスト化
・小型基板での少量生産に充分なプロセス性能を実現
・ハードの信頼性と膜質の安定性を実現
■簡易ロードロックタイプ
・手動搬送機構を装備
・クリーンで高い真空性能
・均一な膜厚・プラズマ・加熱分布性能
・高結晶性窒化膜(AlN)や高反射率金属膜の形成が可能
・紫外ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレート作成
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| 価格情報 | 御問合せ下さい。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 御問合せ下さい。 |
| 用途／実績例 |
【用途】 化合物半導体電極・絶縁膜形成。紫外線ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレート作成 小型電子デバイス各種薄膜形成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連ダウンロード
簡易実験用スパッタリング装置
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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神港精機株式会社 東京支店
