上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
な基礎実験から製品試作までをカバ-する標準型蒸着装置シリーズ。標準本体に実績豊富な各種オプション機構を追加。個別要求を確実に対応
前扉BOXタイプで半自動タイプののAMF型と昇降ベルジャータイプの2機種。
AMFタイプは10㎾電子銃を装備。高融点金属や酸化膜セラミックス膜に対応。
昇降ベルジャータイプは抵抗加熱元を多元装備。
各タイプとも基板加熱・基板冷却・多元同時蒸着等各種オプション機構装備可能。
全手動EMタイプもラインナップ幅広い要求に個別対応
AMFタイプは10㎾電子銃を装備。高融点金属や酸化膜セラミックス膜に対応。
昇降ベルジャータイプは抵抗加熱元を多元装備。
各タイプとも基板加熱・基板冷却・多元同時蒸着等各種オプション機構装備可能。
全手動EMタイプもラインナップ幅広い要求に個別対応
関連情報
簡易実験用スパッタリング装置
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【その他の特長】
■バッチタイプ
・全手動化し低コスト化
・小型基板での少量生産に充分なプロセス性能を実現
・ハードの信頼性と膜質の安定性を実現
■簡易ロードロックタイプ
・手動搬送機構を装備
・クリーンで高い真空性能
・均一な膜厚・プラズマ・加熱分布性能
・高結晶性窒化膜(AlN)や高反射率金属膜の形成が可能
・紫外LED用AlNテンプレート作成
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡易実験用スパッタリング装置(SRV3100型)
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成膜系:φ3インチカソード 1元装備
:高周波電源 1源装備
:基板加熱機構標準装備
:排気系 拡散ポンプ&油回転ポンプ
操作系:全手動
オプション機構
磁性材用カソード コンベンショナルカソード DCバイアス
逆スパッタ機構 バイアススパッタ機構 基板高温加熱
主ポンプ変更(ターボ分子ポンプ採用)
全自動化
お問い合わせ
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神港精機株式会社 東京支店