上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
基板を迅速に加熱できる基板加熱機構で密着性と膜の緻密性を向上。
多元同時スパッタや積層成膜によって膜組成も精密に制御。
個別要求に細やかに対応する硬質膜用ロードロックタイプ全自動スパッタリング装置
関連情報
ハイブリッド硬質膜コーティング装置(DLCーCVD+PVD装置)
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PIG式DLC膜コーティング装置の基本構成本体にアーク放電型マグネトロンスパッタリングカソードを2元追加。硬質の窒化膜・酸窒化膜を積層可能。さらにナノレベルでスムースなDLCの下地や他の硬質膜との積層で新しい機能硬質膜を実現。
硬質膜と個体潤滑膜のそれぞれの目的でも充分活用可能
新機能+多用途対応の硬質膜コーティング装置
赤外線反射防止膜用DLCコーティング装置
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独自開発高密度プラズマ源(PIGプラズマ源)を装備
自公転機構によるハイレート全面成膜機構
各種赤外線光学素子の対応した充実のソフトウェア
硬質膜用スパッタリング装置STL5521型(精密レンズ金型用)
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最大5元kソードを装備し、5元同時スパッタが可能な専用スパッタ室と重量基板の搬送に適したロードロック機構で金型コーティングに対応。
650℃の加熱とガス冷却機構を併用する特殊基板台を装備。
高温加熱による膜の密着力の確保と処理の高速化を実現。
幅広い材質・形状に最適な膜種・処理温度・プロセスを実現できる硬質膜用専用ロードロックタイプスパッタリング装置
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神港精機株式会社 東京支店