ＣＶＤ－ＤＬＣと硬質膜用ＰＶＤの複合型コーティング装置。スムースサーフェスのＰＶＤ膜＋ハイレートＤＬＣ。硬度＋トライボロジー薄膜
自動車用のＤＬＣ膜に実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜コーティング装置に高密度スパッタカソードＡＤＭＳ機構（アーク放電型マグネトロンスパッタリングカソード）を多元追加。トライボロジー特性に優れたＤＬＣ膜に硬質合金膜を積層。スムースな表面を持つ新硬質コーティングを実現。
従来のＤＬＣ膜も新カソードの機能を追加し性能UP。
密着力。耐面圧の向上を容易に実現
もちろん従来のPIG式ＤＬＣ膜コーティング装置は機能追加でシステムアップＯＫ
ＣＶＤ／ＰＶＤ単体性能も充分発揮できる最新型新機能硬質膜コーティング装置
ＰＩＧ式ＤＬＣ膜コーティング装置の基本構成本体にアーク放電型マグネトロンスパッタリングカソードを2元追加。硬質の窒化膜・酸窒化膜を積層可能。さらにナノレベルでスムースなＤＬＣの下地や他の硬質膜との積層で新しい機能硬質膜を実現。
硬質膜と個体潤滑膜のそれぞれの目的でも充分活用可能
新機能＋多用途対応の硬質膜コーティング装置
硬質膜と個体潤滑膜のそれぞれの目的でも充分活用可能
新機能＋多用途対応の硬質膜コーティング装置
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自動車部品コーティング 金型・刃物コーティング |
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ハイブリッド硬質膜コーティング装置（ＤＬＣーＣＶＤ＋ＰＶＤ装置）
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神港精機株式会社 東京支店
