表面改質のための「微細レジストパターン」一括形成技術［電機大］

最終更新日: 2024-09-04 11:31:20.0

多様な表面形状へ、広範囲・高速・安価に、マイクロパターンを一括形成することが可能です。

表面改質による機能性付与では、
高エネルギーレーザーや機械加工によって、被加工物表面に微細なパターンを形成する技術があります。
これらは、精度の高いパターンを製作することができるメリットはありますが、
装置が高価であり、立体的なものへの加工は難易度が高いという課題を抱えています。

本技術では、スペックルという光の特性をリソグラフィーに応用することで、
簡便安価に立体物へ微細パターンを形成することが可能となります。

新技術の特徴
・スペックル光を利用した微細加工技術
・部品表面に微細な点状ランダムレジストパターンを形成（数～数100μｍ程度）
・円筒部品の円周方向表面に一括でパターンを形成可能
・段差のある部品の表面に一括でパターンを形成可能（数10mmの段差面）

本技術で形成されたレジストパターンによって、被加工物表面への機能性付与が期待されます。
（撥水性、親水性、防汚性、潤滑性、反射防止、抗菌性、生体適合性の向上など）

関連リンク - https://shinshu-tlo.co.jp/

基本情報

本技術は東京電機大学の研究成果です。
大学技術との連携による製品開発のご要望がございましたら、お気軽にお問合せください。

本技術に関する知的財産権
　特願2022-131915「露光装置」
　特願2022-019713「内面露光装置」　他

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用途／実績例	想定される用途・撥水性の付与　マイクロピペット先端部、医療用メス、金型部品など・生体適合性の向上　インプラント材料など・オイル潤滑性の向上　加工機、内燃機関など

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