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- 当社では、CMP後洗浄や研磨後洗浄、マスク洗浄などを行う装置を多数取り扱っております。
- 表示件数
- 30件
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- 全自動バッチ処理装置（基板再生・エッチング・RCA洗浄等）
- 高スループット 高信頼性 低コストなバッチ式処理装置
- 最終更新日：2023-02-01 10:40:25.0
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- 《新型》セミオートUDSスピン枚葉装置
- RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど！各種プロセス処理に対応実績多数
- 最終更新日：2023-01-30 17:32:16.0
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- 小型マルチスピンプロセッサー エッチング・洗浄・現像
- スキャン時には周速制御による均一性向上も可能！従来より多数の御使用を戴き実績も豊富
- 最終更新日：2022-12-07 13:12:19.0
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- 卓上スピン洗浄装置
- 上位機種と同等の高い洗浄性能が得られます。
- 最終更新日：2022-12-07 13:12:19.0
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- 表示件数
- 30件