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【MiniLab-125】 多元マルチスパッタ装置（Φ8"対応）1000℃ヒーターステージ(SiCコーティング ）搭載！コンパクトサイズ！

2024-05-06 00:00:00.0 

多元マルチスパッタリング装置（Φ8inch基板対応）
・3元同時成膜 + 1元PulseDCスパッタ
・RF500W, DC850W両電源を3元カソード（Source1, 2, 3）へ自在に配置変更
・5KW PulseDC電源も搭載 → 専用カソード（4）で使用
・基板加熱ステージ Max800℃（SiCコーティングヒーターでMax1000℃も可能）
・MFC x 3系統（Ar, O2…