テルモセラ・ジャパン株式会社

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【セラミック・トップ・ヒーター Max1800℃】PVD/CVD薄膜開発用真空ホットプレート_Φ1inch〜Φ4inch

2024-04-28 00:00:00.0  NEW
半導体, 電子基板等の真空薄膜実験用途に最適!
真空装置内でのシリコン, 化合物, サファイア基板等の加熱・成膜実験用に活用いただけます。
CVD, スパッタリング等の真空装置用超高温Max1800℃基板加熱ヒーター
プロセスに応じたエレメント、材料の選定が可能
◉ Maxエレメント温度
◎ 真空中:1000℃（NiCr）,1200℃（Gr）,1800℃（C/C）
◎ 大気中:500℃…
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セラミック・トップ・ヒーター2inch用の参考写真

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54件中 1〜30件を表示中
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表示件数
30件
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW カタログニュース【SHシリーズ 基板加熱ヒーター_Max 850℃】CVD, PVD薄膜実験用に最適
    テルモセラ・ジャパン【基板加熱ヒーター】CVD, PVD等の薄膜実験用に最適な1inch〜4inch超高温基板加熱ヒーターのカタログの最新版に更新しました。
    ◉ 最高使用温度850℃（SH-IN）、1100℃（SH-BN）
    基板ホルダ、上下昇降機構・基板回転機構・RFバイアスなどのカスタマイズ品…
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース■□■ R&D用小型縦型炉 TVF-110 ■□■
    ローコスト 必要最小構成（手動制御）管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用可能
    小片試料〜3inch waferまでの小基板用 サセプタ手動昇降式縦型実験炉
    大学・企業研究室での基礎実験用に最適な基礎実験用ローコスト版縦型炉

    【用途】
    ◉ 半導体・太陽電池・燃料電池・電子基板等の熱処理
    ◉…
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW カタログニュース★★テルモセラ・ジャパン_薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2022」★★
    半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装置、薄膜実験装置を紹介。

    研究開発分野向け、各種薄膜実験装置・コンポーネントを紹介します。
    【nano Benchtopシリーズ】
    卓上型・ハイパフォーマンス！nano Benchtopシリーズ薄膜実験装置
    コンパクト…
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース【Lab6放電プラズマ生成ヒーターユニット】C/Cコンポジットヒーター
    ◉ 超高温Max1800℃円筒状加熱ヒーター
    ご指定の仕様にて都度製作致します。
    * 従来の金属ヒーターでは不可能だった高温領域が必要なアプリケーションに応用検討下さい。
    ◎ 使用可能環境：真空中, 不活性ガス中 etc..
    ◎ 発熱体：Graphite, C/Cコンポジットヒーター、など。…
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース◆◆◆ 【Nanofurnace】Model. BWS-NANO 熱CVD装置 ◆◆◆
    多目的に使える、高精度プロセスコントロール【ホットウオール式熱CVD装置】
    ◉ グラフェン, カーボンナノチューブ
    ◉ ZnOナノワイヤ
    ◉ SiO2等の絶縁膜など
    その他, ホットウオール式熱CVD装置として幅広いアプリケーションに活用いただけます。
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW カタログニュース★☆★☆【MiniLab-026】R&D用 フレキシブル薄膜実験装置★☆★☆
    必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。
    マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着…
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW カタログニュース☆★☆ 【TCF-C500 超高温小型実験炉】Max 2900℃ ☆★☆
    コンパクト・省スペース・省エネルギー！ 高性能 R&D用超高温実験炉
    小片試料を最高2900℃まで加熱実験ができるR&D用超高温小型実験炉。
    実験室での超高温加熱実験、新素材開発などのさまざまな焼成実験を行うことができます。

    ◆主な特徴◆
    ・省スペース
    ・ロータリー…
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW カタログニュース□■□■【Mini-BENCH 】超高温卓上型実験炉 Max2000℃ □■□■
    最高使用温度2000℃
    卓上サイズ実験炉・省スペース
    還元雰囲気用メタル炉も製作致します。

    ◉ 卓上サイズ 省スペース：328 x 220 x 250mm
    ◉ るつぼ内サンプル焼成用（るつぼΦ50 x 100）, 又はΦ1", Φ2"ウエハー焼成用フラットヒーター
    …
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW カタログニュースBHシリーズ【UHV対応 超高温 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1900℃
    ３種類のサイズ（Φ1, 2, 4inch）4種類のヒーター素線材質（Kanthal, Graphite, SiC, W）に限定して標準化、短納期・安価な価格を実現しました。
    大学実験室・研究機関に限定した製品です。

    【特徴】
    ● 予備ヒーター素線との交換が容易
    ● 取り扱いが簡単（M6ス…
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース★☆★☆【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置★☆★☆
    小型・省スペース! 有機薄膜開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。
    有機EL, 有機薄膜太陽電池, 有機薄膜太陽電池, 又, グラフェン・2D材料（遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料）などの開発プロセスでは、酸素・水…
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW カタログニュース★【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置★ テルモセラ・ジャパン
    コンパクト/省スペース、ハイスペック
    60ℓ容積 蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールを組込みことができる、様々な用途に対応可能なマルチ薄膜実験装置
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース★IntelliLink★nanoPVD薄膜実験装置に新機能「インテリリンク」リモートソフトウエアをリリース！
    nanoPVD-S10A マグネトロンスパッタリング装置、nanoPVD-T15A 金属膜/ 有機膜蒸着装置、nanoPVD-ST15A 複合型薄膜実験装置に専用のリモート管理ソフト「IntelliLink（インテリリンク）」をリリースしました。
    装置付属の7"タッチパネルで装置運転・成…
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース◉Mini-BENCH-prism セミオート式 超高温実験炉 Max2000℃
    最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、タングステンメタル炉） 小型・省スペース実験炉

    ◉有効加熱範囲：Φ2inch〜Φ4inch
    ◉PLCセミオートコントロール
    卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種
    「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を…
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース【MiniLab】 蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム
    2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ - 蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結。Moorfield社独自のロードロックシステムにより、左右・後方へのプロセス室への連結も可能（写真下）。
    1. MiniLab-E080A（蒸着装置）
    ・EB蒸着:7ccるつぼ…
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース4元マルチスパッタ装置 【MiniLab-S060】
    Φ2inchカソード x 4基搭載
    同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1
    プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能
    MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング…
  • 2024-04-28 00:00:00.0
    NEW カタログニュース★nano BenchTopシリーズ 薄膜実験装置★
    研究開発の現場で求められる均一性の高い「高品質」な薄膜を作成するための様々な条件を備えます。nanoシリーズはコンパクトボディに機能を凝縮した高性能装置です。
    欠陥が少なく良質な成膜に欠かせない要素である高真空環境・十分なT/S調整距離を確保する堅牢で機密性が高いステンレスチャンバー・高真空ポンプ…
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース★☆★☆【MiniLab-026】R&D開発用 小型薄膜実験装置★☆★☆
    必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。
    マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（…
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW 製品ニュースホットステージ【基板加熱機構】超高温基板加熱ステージ Max1800℃_Φ2〜Φ4inch
    半導体, 電子デバイス等の開発, 真空薄膜プロセス用【高温基板加熱機構】
    シリコン基板, サファイア基板, 化合物基板他様々な成膜実験用に活用いただけます。
    CVD, スパッタ等の真空装置用超高温Max1800℃基板加熱条件に応じたエレメント、材料の選定が可能
    ◉ 超高真空・不活性ガス・O2・…
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース□■□■【Mini-BENCH 】超高温卓上型実験炉 Max2000℃ □■□■
    卓上サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃
    還元雰囲気用メタル炉も製作致します。

    ◉ 卓上 省スペース：328 x 220 x 250mm
    ◉ るつぼ内サンプル焼成用（るつぼΦ50 x 100）, 又はΦ1"〜Φ4"ウエハー焼成用
    ◉ ハイスペック&…
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース◇◆◇ nanoPVD-S10A マグネトロンスパッタリング装置 ◇◆◇
    研究開発用のRF/DCマグネトロン式スパッタリング装置です。
    高性能・多機能にも関わらず、実験室の限られたスペースにもフィットするコンパクトサイズ、7inch前面タッチパネルによる簡単操作。
    ● 到達圧力 5x10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！）
    ● 膜均一性 ±3%
    ● 多彩…
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース☆★☆【nanoETCH】ソフトエッチング装置☆★☆
    ＜30W低出力制御によるダメージレスエッチング
    出力制御精度 10mWで、低出力にもかかわらず精密で安定したプラズマ処理。
    2010年グラフェン発見でノーベル賞受賞者率いる マンチェスター大学グラフェン研究グループとの共同開発製品。

    【特徴】
    • 2D（遷移金属カルゴゲナイド, 材料転写…
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース【MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉】Max 2000℃_ウエハー高温焼成専用（4inch〜8inch）
    SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応　小規模生産も可能なマルチ雰囲気ウエハーアニール装置
    ◉Max2000℃
    ◉3種類のヒーター材質：
    ・高純度グラファイト：Φ6〜Φ8inch
    ・SiC3（炭化珪素）コーティング：Φ4〜Φ8inch
    ・TiC3（チタン・カ…
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース☆★☆★【nanoCVD-8G/8N】グラフェン/カーボンナノチューブ合成装置 ☆★☆★
    ◉ 本装置だけで簡単にグラフェン・CNT（SWNT）合成実験が可能、全てを備えた【Turnkey System】
    ◎ その他の用途でも熱CVD装置として応用可能
    ◉ 処理時間わずか30分！
    ◉ コールドウオール式による高効率・高精度プロセスコントロール
    ◉ 急速昇温：RT→1100℃/約3分…
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース★【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置★ テルモセラ・ジャパン
    コンパクト/省スペース、ハイスペック
    60ℓ容積 蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールを組込みことができる、様々な用途に対応可能なマルチ薄膜実験装置
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース【SHシリーズ 基板加熱ヒーター_Max 850℃】CVD, PVD薄膜実験用に最適
    テルモセラ・ジャパン【基板加熱ヒーター】CVD, PVD等の薄膜実験用に最適な1inch〜4inch超高温基板加熱ヒーターのカタログの最新版に更新しました。
    ◉ 最高使用温度850℃（SH-IN）、1100℃（SH-BN）
    基板ホルダ、上下昇降機構・基板回転機構・RFバイアスなどのカスタマイズ品…
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース☆★☆ 【TCF-C500 超高温小型実験炉】Max 2900℃ ☆★☆
    コンパクト・省スペース・省エネルギー！ 高性能 R&D用超高温実験炉
    小片試料を最高2900℃まで加熱実験ができるR&D用超高温小型実験炉。
    実験室での超高温加熱実験、新素材開発などのさまざまな焼成実験を行うことができます。

    ◆主な特徴◆
    ・省スペース
    ・ロータリー…
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW 製品ニュース★☆★☆【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置★☆★☆
    MiniLab薄膜実験装置は、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度最適なコンポーネント、制御モジュールを組み込むことにより、セミカスタムメイドで無駄を省いたコンパクトな装置を構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で搭載することにより応用範囲…
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW カタログニュース★☆★☆【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置★☆★☆
    小型・省スペース! 有機薄膜開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。
    有機EL, 有機薄膜太陽電池, 有機薄膜太陽電池, 又, グラフェン・2D材料（遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料）などの開発プロセスでは、酸素・水…
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW カタログニュース★☆★☆【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置★☆★☆
    MiniLab薄膜実験装置は、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度最適なコンポーネント、制御モジュールを組み込むことにより、セミカスタムメイドで無駄を省いたコンパクトな装置を構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で搭載することにより応用範囲…
  • 2024-04-22 00:00:00.0
    NEW カタログニュース◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置
    OLED, OPV, OTFT等の有機薄膜蒸着用途に最適。温度応答性/安定性に優れた低温有機蒸着源、金属膜用蒸着源を採用。

    簡単タッチパネル操作でPLC自動制御、各種設定を一元管理。
    難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。
    USBケーブルでPC接続、ロ…
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