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最終更新日:
2021-04-21 09:54:30.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
FHR Star.100-Tetra CoはMEMSや高機能光学製品向けに設計された非常にコンパクトなスパッタリング装置です。
このシステムには3つのスパッタリングソースと プレクリーニングエッチャーがすべて共焦点形状に配置されており、生産性を高めるためにロードロックならびに搬送チャンバを追加することも可能です。スパッタリングソースには直径100mmのシャッターが搭載されており、このシャッターを制御することで成膜コントロールすることが可能です。また、ソースと基板の距離も制御が可能です。これらの制御はプログラムによりオートコントロールされることで最適な成膜を実現しています。
主用途：MEMS製品や高機能光学製品製造
寸法 (L×W×H)： 2.3 m× 1.3 m × 2.1 m
重量(ロードロック付の場合) ：1,700 - 2,000 kg
最大基板サイズ： 直径150 mm
最大基板キャリア：直径220 mm
対応プロセスガス: アルゴン、酸素、 その他
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