ティー・ケイ・エス株式会社

【英語版】高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』 

最終更新日: 2021-09-09 13:47:04.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』 
高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』  製品画像
【その他の特長】
■200mmウェハや400x300mmまでの基板やテキスタイルの成膜に対応
■In-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応する設計
■より精度の高いプロセスコントロールができる
■クラスター対応設計により必要に応じて搬送チャンバー、ロードロック、
 その他プロセスチャンバーをインテグレーション可能
■小口径ウェハ対応の設備もご用意

※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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