■Shaped Magnet高効率テクノロジーカソード: 高い成膜効率と安定性を実現
■継続使用可能なターゲット: お手持ちのターゲットを再利用可能で、コスト減
■安定した成膜とコストダウンの両立: エロージョンによるスパッタ状態の変化が少なく、ターゲット交換のコストを低減
■既存各社のスパッタ装置での使用可能: 他社の装置にも適応可能
■高真空対応: 幅広い用途に対応する高真空環境で使用可能
■φ1インチからφ12インチ迄の対応: ターゲットサイズの柔軟な選択可能
■豊富なオプション機構: シャッターやチルトアングルなど、多彩なオプション有
■継続使用可能なターゲット: お手持ちのターゲットを再利用可能で、コスト減
■安定した成膜とコストダウンの両立: エロージョンによるスパッタ状態の変化が少なく、ターゲット交換のコストを低減
■既存各社のスパッタ装置での使用可能: 他社の装置にも適応可能
■高真空対応: 幅広い用途に対応する高真空環境で使用可能
■φ1インチからφ12インチ迄の対応: ターゲットサイズの柔軟な選択可能
■豊富なオプション機構: シャッターやチルトアングルなど、多彩なオプション有