ティー・ケイ・エス株式会社

スパッタカソード『ONYXシリーズ』

最終更新日: 2023-11-09 13:09:44.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

スパッタカソード『ONYXシリーズ』販売・修理/メンテも対応可能
スパッタカソード『ONYXシリーズ』販売・修理/メンテも対応可能 製品画像
■Shaped Magnet高効率テクノロジーカソード: 高い成膜効率と安定性を実現
■継続使用可能なターゲット: お手持ちのターゲットを再利用可能で、コスト減
■安定した成膜とコストダウンの両立: エロージョンによるスパッタ状態の変化が少なく、ターゲット交換のコストを低減
■既存各社のスパッタ装置での使用可能: 他社の装置にも適応可能
■高真空対応: 幅広い用途に対応する高真空環境で使用可能
■φ1インチからφ12インチ迄の対応: ターゲットサイズの柔軟な選択可能
■豊富なオプション機構: シャッターやチルトアングルなど、多彩なオプション有

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