最終更新日:
2024-03-18 15:06:00.0
高機能・高品質なマグネトロンスパッタカソード！
安定した成膜とコストダウンの両立を実現します。
アメリカオングストローム・サイエンス社製の高機能・高品質な「マグネトロンスパッタカソード」です。
特許技術のShaped Magnet採用により、ターゲットの広い面積を利用するため、エロージョンの進行によるスパッタ状態の変化が起こりにくく、安定した成膜とターゲット交換のためのコスト低減を実現しています。
【特長】
■Shaped Magnet高効率テクノロジーカソード: 高い成膜効率と安定性を実現
■継続使用可能なターゲット: お手持ちのターゲットを再利用可能で、コスト減
■安定した成膜とコストダウンの両立: エロージョンによるスパッタ状態の変化が少なく、ターゲット交換のコストを低減
■既存各社のスパッタ装置での使用可能: 他社の装置にも適応可能
■高真空対応: 幅広い用途に対応する高真空環境で使用可能
■φ1インチからφ12インチ迄の対応: ターゲットサイズの柔軟な選択可能
■豊富なオプション機構: シャッターやチルトアングルなど、多彩なオプション有
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
■Shaped Magnet高効率テクノロジーカソード: 高い成膜効率と安定性を実現
■継続使用可能なターゲット: お手持ちのターゲットを再利用可能で、コスト減
■安定した成膜とコストダウンの両立: エロージョンによるスパッタ状態の変化が少なく、ターゲット交換のコストを低減
■既存各社のスパッタ装置での使用可能: 他社の装置にも適応可能
■高真空対応: 幅広い用途に対応する高真空環境で使用可能
■φ1インチからφ12インチ迄の対応: ターゲットサイズの柔軟な選択可能
■豊富なオプション機構: シャッターやチルトアングルなど、多彩なオプション有
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Angstrome ONYX |
| 用途／実績例 | 官公庁研究施設様での採用多数 |
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