最終更新日:
2024-04-02 09:45:42.0
従来のマニピュレータとは異なる自走式ナノプローバロボット『miBot』！
この新発想のナノ・プロービングシステムは、最大8基のmiBotナノプローバの制御が可能であり、様々な構成とオプションを組み合わせて提供可能です。アプリケーション固有の要求事項や装置への搭載条件に対応したカスタマイズが可能です。
miBot用のコンパクトで軽量なプラットフォームは、様々な電子顕微鏡に対応することが可能であり、SEM等のサンプルステージ上に取り付けたり、ロードロックを介して試料室内に導入することも可能です。
セミインレンズ形対物レンズを使用した高分解能イメージングにも対応し、新型のFE-SEMを使用し0.5kV未満の低加速電圧での高分解能イメージング下での、ナノプロービング試験を実現します。
また、SEMのサンプルステージのチルト機構を使用して、ナノ・プロービングシステム全体を傾けることが可能です。
FIBによる回路修正とナノプロービングを同一環境下で行うことか可能となり、より迅速に且つ正確な故障解析結果を得ることが可能です。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様】
■ナノプローバーmiBotNANO
■自由度：プローブごとに4種の独立駆動
（X、Y、R、Z）
■寸法と重量
・本体：20.5×20.5×13.6mm3
・アーム：8.3mm（取付工具必要なし）
・重量：12g
■最大位置決め解像度モーションモード
・粗い（ステッピング）および細かい（スキャニング）
・ステッピング：50nm（X、Y）、120nm（Z）
・スキャニング：1.5nm（X、Y）、3.5nm（Z）
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