株式会社巴川コーポレーション

微小異物の断面観察

最終更新日: 2024-03-28 15:39:37.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

高度なサンプル加工により微小混入異物等の鮮明なSEM写真や元素分析が得意です!
FIB(集束イオンビーム) は細く集束したGaイオンビームを試料表面に照射し走査することで試料表面の加工を行います。

FIBは狙いたい所の微細加工が可能で、数ミクロン程の微小な領域でも狙って断面化できます。

7μm×2μmの異物を断面化してSEM(電子顕微鏡)よる画像解析、EDSによる元素分析を行いました。

カタログは、FIBにより狙った微小領域を断面化し、断面SEM写真や元素分析による微小混入異物を調査した事例を紹介します。

関連情報

微小異物の断面観察
微小異物の断面観察 製品画像
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