株式会社ウェーブフロント 本社

半導体関連装置向けに特化した解析ソフトウェア

最終更新日: 2024-06-17 16:26:40.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

■半導体関連装置向け解析ソフト ・希薄流体解析『DSMC-Neutrals』 ・プラズマ解析『Particle-PLUS』
◆2つのシステムでさまざまな事例に対応◆
・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション
・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション
・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE )
などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション
・物理蒸着(PVD)真空蒸着(抵抗加熱,電子ビーム加熱,高周波誘導加熱、レーザー加熱)のシミュレーション
・スパッタリング(マグネトロン、イオンビーム)のシミュレーション
・プラズマエッチングのシミュレーション

など、半導体関連装置に特化したシミュレーションソフトです
◆さまざまな計算結果を出力◆
・化学反応の計算
・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算
・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算
・GUI 上で,複数の反応式を設定も可能
・成膜速度分布
・電子とイオンの密度分布
・ラジカルと励起種の発生分布
・イオンフラックス分布
・エロージョン速度分布
など
◆お客様のニーズに合わせた対応◆
ソフト販売も含め、受託計算も実施しております。
※詳しくお気軽にお問い合わせください!

関連情報

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト
半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト 製品画像

【その他の特長】
■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、
 真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用
■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能
■非構造メッシュを採用しているため、実際の装置の形状そのままを
 計算することが可能
■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり、
 品質の悪い計算格子が有っても、必ず収束解を得られます
■充実した技術サポートにより、シミュレーションが初めての方や
 実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

◆さまざまな計算結果を出力◆
・化学反応の計算
・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算
・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算
・GUI上で、複数の反応式を設定も可能
・成膜速度分布
・電子とイオンの密度分布
・ラジカルと励起種の発生分布
・イオンフラックス分布
・エロージョン速度分布      など

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』 製品画像

【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで,真空チャンバーを
 用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜速度,成膜分布のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので,実際の装置の形状そのままを
 計算することが可能
●高い並列効率から,大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が
  有っても,必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより,シミュレーションが始めての方や実験で
  忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。

ダスト挙動の解析ソフト『DSMC-Neutrals』
ダスト挙動の解析ソフト『DSMC-Neutrals』 製品画像

【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで,真空チャンバーを
 用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので,実際の装置の形状そのままを
 計算することが可能
●高い並列効率から,大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が
  有っても,必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより,シミュレーションが始めての方や実験で
  忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』
真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』 製品画像

【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで,真空チャンバーを
 用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので,実際の装置の形状そのままを
 計算することが可能
●高い並列効率から,大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が
  有っても,必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより,シミュレーションが始めての方や実験で
  忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。

自動車用スパークプラグシミュレーション『VizSpark』
自動車用スパークプラグシミュレーション『VizSpark』 製品画像

VizSparkはアークプラズマの特性だけではなく、共役熱伝達や流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い目的に活用をして頂く事が可能です。

VizSparkを使用する事で、アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う圧力及び温度上昇の他、アークプラズマのエネルギー効率等を解析できます。

自動車用点火プラグシミュレーション『VizSpark』
自動車用点火プラグシミュレーション『VizSpark』 製品画像

VizSparkはアークプラズマの特性だけではなく、共役熱伝達や流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い目的に活用をして頂く事が可能です。

VizSparkを使用する事で、アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う圧力及び温度上昇の他、アークプラズマのエネルギー効率等を解析できます。

アークプラズマシミュレーションソフトウェア『VizSpark』
アークプラズマシミュレーションソフトウェア『VizSpark』 製品画像

VizSparkはアークプラズマの特性だけではなく、共役熱伝達や流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い目的に活用をして頂く事が可能です。

VizSparkを使用する事で、アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う圧力及び温度上昇の他、アークプラズマのエネルギー効率等を解析できます。

技術資料vo.1『信頼性中心保全(RCM)とCMMSとは』
技術資料vo.1『信頼性中心保全(RCM)とCMMSとは』 製品画像

vol.2やvol.3では、
・システム(系)の評価とCMMS/EAMによる管理
・RCMを支援するためのシステムは、どうあるべきか  などを紹介予定です!

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

【半導体向け】解析シミュレーションソフト ※カタログ進呈
【半導体向け】解析シミュレーションソフト ※カタログ進呈 製品画像

【その他の特長】
■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、
 真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用
■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能
■非構造メッシュを採用しているため、実際の装置の形状そのままを
 計算することが可能
■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり、
 品質の悪い計算格子が有っても、必ず収束解を得られます
■充実した技術サポートにより、シミュレーションが初めての方や
 実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

◆さまざまな計算結果を出力◆
・化学反応の計算
・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算
・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算
・GUI上で、複数の反応式を設定も可能
・成膜速度分布
・電子とイオンの密度分布
・ラジカルと励起種の発生分布
・イオンフラックス分布
・エロージョン速度分布      など

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

スパークプラグの摩耗解析も可能な『VizSpark』
スパークプラグの摩耗解析も可能な『VizSpark』 製品画像

VizSparkはアークプラズマの特性だけではなく、共役熱伝達や流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い目的に活用をして頂く事が可能です。

VizSparkを使用する事で、アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う圧力及び温度上昇の他、アークプラズマのエネルギー効率等を解析できます。

点火プラグのエロージョン解析も可能な『VizSpark』
点火プラグのエロージョン解析も可能な『VizSpark』 製品画像

VizSparkはアークプラズマの特性だけではなく、共役熱伝達や流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い目的に活用をして頂く事が可能です。

VizSparkを使用する事で、アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う圧力及び温度上昇の他、アークプラズマのエネルギー効率等を解析できます。

粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』 製品画像

【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで,真空チャンバーを
 用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜速度,成膜分布のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので,実際の装置の形状そのままを
 計算することが可能
●高い並列効率から,大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が
  有っても,必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより,シミュレーションが始めての方や実験で
  忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』
CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』
シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』 製品画像

【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで,真空チャンバーを
 用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので,実際の装置の形状そのままを
 計算することが可能
●高い並列効率から,大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が
  有っても,必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより,シミュレーションが始めての方や実験で
  忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

CVD装置用 解析ソフト『Particle-PLUS』
CVD装置用 解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  Monte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

・ソフト販売だけではなく、受託解析も実施しております。

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。
information@wavefront.co.jp

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』
粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』
プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』
マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』
3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』
真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』 製品画像

【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで,真空チャンバーを
 用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜速度,成膜分布のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので,実際の装置の形状そのままを
 計算することが可能
●高い並列効率から,大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が
  有っても,必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより,シミュレーションが始めての方や実験で
  忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』
ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  Monte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

・ソフト販売だけではなく、受託解析も実施しております。

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。
information@wavefront.co.jp

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理
【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ
【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ
【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置
【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事例】Particle-PLUS 回転ターゲットのマグネトロン
【事例】Particle-PLUS 回転ターゲットのマグネトロン 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D
【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ
【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ
【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP
【事例】Particle-PLUS 2周波CCP 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP
【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

バルブやポンプの熱流体解析を承ります!
バルブやポンプの熱流体解析を承ります! 製品画像

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

CAEの受託解析・委託解析・請負を承ります!
CAEの受託解析・委託解析・請負を承ります! 製品画像

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

流体解析受託サービス
流体解析受託サービス 製品画像

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

CFDの受託解析・委託解析・請負を承ります!
CFDの受託解析・委託解析・請負を承ります! 製品画像

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

プラズマの受託解析・委託解析・請負を承ります!
プラズマの受託解析・委託解析・請負を承ります! 製品画像

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

希薄気体の受託解析・委託解析・請負を承ります!
希薄気体の受託解析・委託解析・請負を承ります! 製品画像

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

数値シミュレーションの受託解析・委託解析・請負を承ります!
数値シミュレーションの受託解析・委託解析・請負を承ります! 製品画像

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

熱流体解析の受託解析・委託解析・請負を承ります!
熱流体解析の受託解析・委託解析・請負を承ります! 製品画像

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

各種CAE解析でお客様の製品改善を支援いたします!
各種CAE解析でお客様の製品改善を支援いたします! 製品画像

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ
【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ
【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析
【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析
【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析 製品画像

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
 計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
  onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
  迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
  分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
  求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

弁やポンプの熱流体解析を承ります!
弁やポンプの熱流体解析を承ります! 製品画像

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

【事例】『DSMC-Neutrals』でのダスト挙動の解析
【事例】『DSMC-Neutrals』でのダスト挙動の解析 製品画像

【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで,真空チャンバーを
 用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので,実際の装置の形状そのままを
 計算することが可能
●高い並列効率から,大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が
  有っても,必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより,シミュレーションが始めての方や実験で
  忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション
【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション 製品画像

【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで,真空チャンバーを
 用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜速度,成膜分布のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので,実際の装置の形状そのままを
 計算することが可能
●高い並列効率から,大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が
  有っても,必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより,シミュレーションが始めての方や実験で
  忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。

【事例】『DSMC-Neutrals』シャワーヘッド型CVD解析
【事例】『DSMC-Neutrals』シャワーヘッド型CVD解析 製品画像

【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで,真空チャンバーを
 用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので,実際の装置の形状そのままを
 計算することが可能
●高い並列効率から,大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が
  有っても,必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより,シミュレーションが始めての方や実験で
  忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

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