【表面処理事例】超薄膜フッ素コーティングでレジスト液の付着防止

最終更新日: 2024-04-23 09:55:06.0

超薄膜で高い撥水撥油性・離型性を実現！100ナノ以下の薄膜フッ素コーティング『ナノプロセス　TC-10S』※事例＆資料進呈

超薄膜フッ素コーティング『ナノプロセス　TC-10S』で
レジストの液切れを実現し、製品不良を改善した事例をご紹介します。

■課題ポイント

・フィルム状の基板にレジスト液を塗布する際、
　吸着治具にレジスト液が付着し次の搬送基板に
　治具のレジスト液付着する問題が発生。
・基板へのレジスト液の付着は製品不良の原因となる。
・レジストの付着を防ぐため、治具の清掃頻度増加。
・テフロンコーティングでは、表面の凹凸が薄い基板に模様として転写し、
　製品不良の原因になる。

■解決のポイント
・膜厚1μｍ以下の薄膜フッ素コーティングは基盤表面に凹凸が転写しない。
・レジスト液の離型性が良く、基板への液付着リスクが減少。
・吸着治具の清掃時間の削減。
・製品不良の減少。

■TC-10Sの特徴

・寸法変化をほとんど起こさず、光学特性を維持できる、
・これまでのフッ素樹脂コーティングｆでは加工が難しかった『精密部品』
　『高い寸法・表面精度を必要とする分野』での加工が可能

※事例・表面処理の詳細はPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『ナノプロセス』の詳細情報はこちら！吉田SKT公式サイト

基本情報

【TC-10Sの特長】
■精密性
■変化のない可視光線透過率
■高い撥水性・撥油性
■耐熱性
■高い寸法定性

【各シリーズの特長】
■TC-10S
　100nmの精密性・可視光線透過率・撥水性・撥油性に優れる
■TLSシリーズ
　ガムテープの様な粘着物の非粘着性に優れる
■NCFPCシリーズ
　水・油の液滑落性に優れる
■HPシリーズ
　親水性に優れる
　

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型番・ブランド名	ナノプロセス(R)
用途／実績例	【用途例】・電子機器、電子部品のシールや撥水処理・光学レンズの撥水・軸受け部品のオイル拡散防止・シール部品のオイルスラッジ防止・フラックスなどの付着防止・レジスト液等の液切れ対策・理化学機器の撥水性向上　　etc

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