最終更新日:
2021-09-22 10:18:08.0
自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理
回路形成材料「アデカエイフェススーパーシステム」は、専用エッチング液「アデカケルミカＴＦＥ－３０００シリーズ」により、サブトラクティブ法による微細配線を実現します。ピッチ２５μｍ以下ＣＯＦにおいて、高エッチファクターの回路形成を可能にします。自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理により、安定したファインエッチングを提供します。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
基本情報
【特長】
○専用エッチング液「アデカケルミカＴＦＥ－３０００シリーズ」により、サブトラクティブ法による微細配線を実現
○ピッチ２５μｍ以下ＣＯＦにおいて、高エッチファクターの回路形成を可能にする
○自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理により、安定したファインエッチングを提供
【ラインナップ】
○アデカエイフェススーパー装置
→用途：新規エッチング薬剤用自動管理装置
○アデカケルミカ ＴＦＥ－３０００シリーズ
→用途：ＣＯＦ用ファインエッチング
○アデカケルミカ ＴＦＥ－５０００シリーズ
→用途：サブストレート用ファインエッチング
○アデカリムーバー ＮＲシリーズ
→用途：Ni-Crシード除去剤
○アデカケルミカ ＡＤシリーズ
→用途：セミアディティブ工法用クイックエッチング液
○アデカケルミカ Ｗシリーズ
→用途：ウエハレベルＣＳＰ製造工程用選択エッチング液
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