日本エアーテック株式会社

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クリーンルーム内部機器『恒温低湿クリーンチャンバー』

最終更新日: 2024-03-11 09:50:44.0
消費電力は約2200VAで、重量は約350Kg!チャンバー内の温度は±1℃以内の制御が可能

『恒温低湿クリーンチャンバー』は、清浄度がISOクラス5(クラス100)の
クリーンルーム内部機器です。

チャンバー内の相対湿度は5~30%RH(22℃にて)の範囲で設計。吹出風速は
風量コントローラーにより、調整ができます。

当社は豊富なクリーン化技術と経験により、温度・湿度制御機能を付加した
「サーマルクリーンチャンバー」を多数、設計・製作しています。

【特長】
■清浄度はISOクラス5(クラス100)
■チャンバー内の相対湿度は5~30%RH(22℃にて)の範囲で設計
■チャンバー内の温度は±1℃以内の制御が可能
■吹出風速は風量コントローラーにより、調整ができる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【仕様(一部)】
■集塵効率:0.3μm粒子にて99.99%以上
■集塵要素
 ・メインフィルター:HEPAフィルター
 ・プレフィルター:不織布フィルター
■風量:約28m3/min
■循環回数:約680回/時

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用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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