『恒温低湿クリーンチャンバー』は、清浄度がISOクラス5(クラス100)の
クリーンルーム内部機器です。
チャンバー内の相対湿度は5~30%RH(22℃にて)の範囲で設計。吹出風速は
風量コントローラーにより、調整ができます。
当社は豊富なクリーン化技術と経験により、温度・湿度制御機能を付加した
「サーマルクリーンチャンバー」を多数、設計・製作しています。
【特長】
■清浄度はISOクラス5(クラス100)
■チャンバー内の相対湿度は5~30%RH(22℃にて)の範囲で設計
■チャンバー内の温度は±1℃以内の制御が可能
■吹出風速は風量コントローラーにより、調整ができる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様(一部)】
■集塵効率:0.3μm粒子にて99.99%以上
■集塵要素
・メインフィルター:HEPAフィルター
・プレフィルター:不織布フィルター
■風量:約28m3/min
■循環回数:約680回/時
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用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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