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ファンフィルターユニット『EC-MAC』<半導体製造装置向>

最終更新日: 2024-03-11 09:50:44.0
EMC対応(CEマーキング品)です。海外仕様にも対応したファンフィルターユニット

当製品は、標準搭載のPTFEフィルターで半導体・液晶製造に適した
ファンフィルターユニットです。

AC100V~240V(単相)対応で、電源確保が容易。

運転信号および異常信号の出力が可能で、高効率DCブラシレスモーターの
採用により省電力化を実現しました。

【特長】
■高清浄度空間の創出
■フリー電源対応
■省電力
■信号出力対応
■RoHS指令対応品

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【仕様(抜粋)】
<MAC-II A-50EMC-PTFE>
■集塵効率:0.1~0.2μm粒子(シリカ)にて99.9999%以上
■集塵要素(メインフィルター):PTFEフィルター
■処理風量(m3/min):約5
■平均吹出風速(m/s):0.39
■電源:AC100~240V 1φ 50/60Hz ※駆動電源はDC24V

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