当社が取り扱う、クリーンルーム内部機器『横型全自動レチクルストッカー』を
ご紹介します。
自社開発のクラス1対応多関節アーム式ロボットを採用(超低発塵機構、絶対値
制御式サーボモータ、CCDカメラ搭載による位置補正、品種管理が可能)。
また、レチクルケースはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、
SMIFケース等特殊ケースにも対応できます。
【特長】
■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック
■ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用
■自動搬送装置にセット出来るほか、手動、AGV装置によっても入出庫が可能
■パソコン内蔵のため、自社開発のソフトが豊富
■お客様のホストコンピューターとのリンクも可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様(一部)】
■清浄度
・レチクル保管部:ISOクラス3(クラス1)
・レチクル移動部:ISOクラス4(クラス10)
■集塵要素(メインフィルター):ULPAフィルター
■集塵効率:0.1μm粒子にて99.999%以上
■処理風量:約160m3/min
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