半導体工業におけるウエハーの焼鈍やレジスト膜の乾燥、 光学分野での
洗浄後のレンズ乾燥および医療器材の無菌乾燥等は高温・高清浄度環境で
制御された「クリーンオーブン」が好適です。
当社では、庫内温度60~200℃の”標準”や、蒸気オーブン・大型オーブン
といった方式の”特殊”な『クリーンエアーオーブン』を取り扱っております。
また、製品や材料の寸法、種類に応じて様々なご要望に対応。ご用命の際は
お気軽にお問い合わせください。
【標準クリーンエアーオーブン 仕様(一部)】
■型式:ACO-200-554K
■清浄度(常温時、総合効率にて):ISOクラス5(クラス100)
■集塵効率:0.3μm粒子にて99.97%以上
■集塵要素
・メインフィルター:高温用HEPAフィルター
・プレフィルター:不織布フィルター
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【特殊クリーンエアーオーブン 仕様(一部)】
■方式
・蒸気オーブン
・大型オーブン
■清浄度:ISOクラス5(クラス100)
■集塵効率:0.3μm粒子にて99.97%以上
■集塵要素(メインフィルター):HEPAフィルター
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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