日本エアーテック株式会社

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クリーンルーム内部機器『クリーンエアーオーブン』

最終更新日: 2024-03-11 09:50:44.0
レジスト膜の乾燥などに好適!製品や材料の寸法、種類に応じて様々なご要望に対応

半導体工業におけるウエハーの焼鈍やレジスト膜の乾燥、 光学分野での
洗浄後のレンズ乾燥および医療器材の無菌乾燥等は高温・高清浄度環境で
制御された「クリーンオーブン」が好適です。

当社では、庫内温度60~200℃の”標準”や、蒸気オーブン・大型オーブン
といった方式の”特殊”な『クリーンエアーオーブン』を取り扱っております。

また、製品や材料の寸法、種類に応じて様々なご要望に対応。ご用命の際は
お気軽にお問い合わせください。

【標準クリーンエアーオーブン 仕様(一部)】
■型式:ACO-200-554K
■清浄度(常温時、総合効率にて):ISOクラス5(クラス100)
■集塵効率:0.3μm粒子にて99.97%以上
■集塵要素
 ・メインフィルター:高温用HEPAフィルター
 ・プレフィルター:不織布フィルター

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【特殊クリーンエアーオーブン 仕様(一部)】
■方式
 ・蒸気オーブン
 ・大型オーブン
■清浄度:ISOクラス5(クラス100)
■集塵効率:0.3μm粒子にて99.97%以上
■集塵要素(メインフィルター):HEPAフィルター

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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