有機ELデバイス開発などに適した研究開発用装置を紹介します。
当社では、大気にさらすことなく連続処理が可能な
『研究開発用装置 成膜装置･グローブボックス』を設計・製造・販売しております
GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、
基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。
KOREA KIYON製 不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で
水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計されています。
各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能です。
【特徴】
[研究用小型真空蒸着装置]
○GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉し、不活性雰囲気を保ち、
基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能
[不活性ガス循環精製式GBOX]
○不活性ガスの雰囲気で水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計
○各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能
[便利ツール]
○基板洗浄治具
→試料基板の洗浄に。市販ビーカーにも対応
○キャリアBOX
→試料基板･小部品の密閉搬送に最適。内部アダプター交換可能
○基板測定治具
→デバイス形状に合わせコンタクト。デバイス基板の密閉測定に
○蒸発源
→各種材料に対応した蒸発源を用意
○真空プローパー
→デバイス基板の真空測定･評価に。搬送BOXにも対応
○GBOXプローパー
→GBOX内部でのデバイス基板の測定･評価に。外部モニター付
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
○基板洗浄治具
→試料基板の洗浄に。市販ビーカーにも対応
○キャリアBOX
→試料基板･小部品の密閉搬送に最適。内部アダプター交換可能
○基板測定治具
→デバイス形状に合わせコンタクト。デバイス基板の密閉測定に
○蒸発源
→各種材料に対応した蒸発源を用意
○真空プローパー
→デバイス基板の真空測定･評価に。搬送BOXにも対応
○GBOXプローパー
→GBOX内部でのデバイス基板の測定･評価に。外部モニター付
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
| 価格情報 | お問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ お問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
関連ダウンロード
研究開発用装置 成膜装置･グローブボックス
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社エイエルエステクノロジー
