![自動リフトオフ装置(メタル・レジスト剥離)Lift-off 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/a13/58077002/IPROS23160843941723433131.png?w=140&h=140)
【主な仕様】
■ウェハサイズ:φ2"~φ8"まで対応可能
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液
■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液
■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応)
■消火器システム
その他オプション多数!
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■ウェハサイズ:φ2"~φ8"まで対応可能
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液
■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液
■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応)
■消火器システム
その他オプション多数!
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。