最終更新日:
2020-11-24 11:57:21.0
高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！
物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！
W効果リフトオフとは？
・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離
・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離
また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。
この他にレジスト、ポリマー、 マスクの洗浄装置としても使用でき、熱処理後やドライエッチング後の頑固なレジストも剥離可能です。
また、DIP処理で問題となるバリやメタルの再付着がありません。
厚膜のメタル、酸化膜など、エッチングで困難な厚膜のパターニングに好適な高圧ジェットリフトオフ装置です。
【特長】
■W（ダブル）効果リフトオフによる驚きの剥離能力！
■枚葉式によるプロセス安定性
■リフトオフ時のバリの除去
■再付着なし
■温調薬液のリサイクルシステム （オプション）
※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■ウェハサイズ：φ2"～φ8"まで対応可能
■膨潤機能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液
■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液
■装置サイズ：1500×1100×1900(3カップ時、本体)
■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応)
■消火器システム
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | VCSEL、LED、LD、SAWフィルター、MEMS等各メーカーにてご採用いただいております。 |
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
