最終更新日:
2023-07-12 11:42:37.0
光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏向型)
日本電子株式会社 BS/JEBG/EBG series 電子銃は、光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏向型)です。
〇特長
・蒸発材料に電子ビームを直接照射し加熱するため熱効率が良く、高融点金属を始め、酸化物や化合物、昇華性物質など様々な材料を蒸発させる事ができます。
・水冷銅るつぼ内(※)の蒸発材料を直接加熱するため、抵抗加熱式や誘導加熱式のようにボートやるつぼとの反応がありません。
※ハースライナーを使用する場合もあります。
・高速で出力制御できるため、精密な膜厚制御が可能です。
※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【型式】
BS-60070DEBS、BS-60060DEBS、BS-60050EBS、BS-60040VDGN、BS-60030DGN
EBG-102UB6S、EBG-102UB4S、JEBG-102UH0、BS-60210DEM＋BS-60140H4H
BS-60210DEM＋BS-60150H6H、EBG-203UB6S 、EBG-203UB4H、JEBG-203UA0
JEBG-303UA
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|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
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| 型番・ブランド名 | BS/JEBG/EBG series |
| 用途／実績例 | 【用途】 光学薄膜や電極膜などの各種薄膜形成 |
お問い合わせ
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アズサイエンス株式会社 松本本社
