最終更新日:
2023-01-23 16:42:22.0
3kg･cmから最高100kg･cmの高トルクタイプのものまで各種ご用途に応じて選択可能！
当製品は、真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が
10^-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。
磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機をご用意。
真空ブレージング接合を採用し、エラストマーシールは一切使用して
おりませんので、超高真空系に適しています。
【特長】
■大きな伝達トルク
■長寿命
■ベークアウト可能
■アウターロータストッパ
■モータ駆動可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】
■磁気結合型
・954-7603
・954-7604
・954-7605
・954-7607
■ベローズ式
・954-7620
・954-7630
・954-7640
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キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
