キヤノンアネルバ株式会社

栗木本社

真空部品『超高真空ビューイングポート』

最終更新日: 2023-01-23 16:48:52.0
広く鮮明な有効視野!透過率の変化や変色が少なく優れた耐放射線特性があります

『超高真空ビューイングポート』は、真空容器内を外部より観察するための
のぞき窓です。

コバールガラス、または合成サファイアとコバールを封着したものを
ICFフランジに溶接しているので、10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用可能。

特にサファイア製ビューイングポートは、紫外線領域(短波長)の電磁波や
粒子線の照射に対して安定した透過特性を持っています。

【特長】
■広く鮮明な有効視野
■超高真空領域まで使用可能
■優れた加熱許容性
■広範囲波長を安定透過
■優れた耐放射特性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【仕様】
■耐圧力:0.1MPa(内部真空、外部大気圧)
■許容加熱温度:350℃
■温度変化:25℃/min以下
■リーク量:1.3×10^-11Pa・m3/sec以下

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