最終更新日:
2023-01-20 15:45:46.0
高度な分析に対応する優れた基本性能！低ガス放出のイオン源を採用したトランスデューサータイプ
『M-101/201QA-TDM』は、高感度・高機能で低ガス放出を実現した
PC制御専用の四重極型質量分析計です。
検出器に2次電子増倍管を使用し、イオン化電圧、エミッション電流の
細かい設定が可能。薄膜製造装置のガス分析から加速器ガス分析等
幅広く使用されています。
また、当社では各種真空装置の残留ガスモニタに適した低価格版の
「M-070QA-TDF」もご用意しております。
【特長】
■検出器に2次電子増倍管を使用
■低ガス放出のイオン源を採用
■イオン化電圧、エミッション電流の細かい設定が可能
■QUADVISION
■豊富なI/O機能を標準装備
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】
■標準モデル
・M-070QA-TDF
・M-101QA-TDF
■高感度モデル
・M-101QA-TDM
・M-201QA-TDM
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■残留ガスモニタ、加速器等の真空モニタ、無機ガス分析、昇温脱離ガス分析、等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
