キヤノンアネルバ株式会社

栗木本社

あら引きバルブ『Vシリーズ』

最終更新日: 2023-01-23 16:28:22.0
小型化と低価格を実現!高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブに好適

『Vシリーズ』は、10^-4Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。

真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム(バイトン)Oリングを使用。

高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブとして好適です。
また、圧空駆動式バルブに使用しているエアーシリンダは、開閉用の
ポジションセンサスイッチを装備しています。

【特長】
■10^-4Pa程度の高真空領域まで使用可能
■軸シール部のみ、ふっ素グリースを使用
■開閉ポジションセンサスイッチ装備
■駆動方式
 ・圧空
 ・手動

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【ラインアップ】
■V-025RV-CN
■V-025RV-MN

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