枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタマイズ致します。
ダルトンのリフトオフ装置は６種のラインナップと６種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。
【ラインナップ】
・HU型（量産向け）…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり
・HM型（研究開発・量産向け）…Jet処理のみで剥離が可能なウエハーに好適。
・CHU型（研究開発向け）…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現
・MJ型（研究開発向け）…Jetチャンバーのみを有し、ウエハー投入・排出は手動操作
・SL型（量産向け）…ディップ槽のみでリフトオフ処理を行なうシャワードレン式リフトオフ装置
・ML型（研究開発・量産向け）…SL型からローダー、搬送機、アンローダーを削除した装置
上記６種類のラインナップに、６種類のオプションをつけられます。
オプションの詳細は、下へスクロールしご覧ください。
当社東京テストセンターにて、テストを実施頂けます（オンライン対応可）
※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
【オプション】
・Suffix System…剥離層の超音波の効率を向上
・DoM Jet System…液中高圧Jet機能とクイックダンプ機能でHU型、SL型、ML型の機能を向上
・超音波モニター…超音波洗浄設備の音圧監視システム
・USF System…大量のスラッジを高効率に回収するシステム。ISF Systemとの併用も可
・ISF System…剥離層で出るスラッジを分離、改修するインラインスラッジ除去装置
・新Jetチャンバー機能…チャンバ―内に付着したスラッジの自動クリーニングシステム
※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
・Suffix System…剥離層の超音波の効率を向上
・DoM Jet System…液中高圧Jet機能とクイックダンプ機能でHU型、SL型、ML型の機能を向上
・超音波モニター…超音波洗浄設備の音圧監視システム
・USF System…大量のスラッジを高効率に回収するシステム。ISF Systemとの併用も可
・ISF System…剥離層で出るスラッジを分離、改修するインラインスラッジ除去装置
・新Jetチャンバー機能…チャンバ―内に付着したスラッジの自動クリーニングシステム
※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | LED製造工程、レーザー製造工程、光デバイス製造工程等 |
関連ダウンロード
リフトオフ装置 ※テスト可能機種あり
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社ダルトン
