生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現します。
自動酸・アルカリ洗浄装置。
対応ワークサイズ φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。
2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能。
【その他特長】
■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。
■フォトマスク洗浄装置の製作が可能。
■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能。
■オプションでオゾン水洗浄が可能。
■オプションでナノバブル洗浄が可能。
当社東京テストセンターにて、テストを実施頂けます（オンライン対応可）
※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 半導体製造工程、電子材料製造工程、等 |
関連ダウンロード
ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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株式会社ダルトン
