従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・電流密度により多孔質シリコンウエハーが形成されます。
陽極酸化装置は従来、電流を流し酸化膜を形成させる装置でしたが、さらに応用したポーラスシリコン形成装置は使用薬液・電流密度を変えることで多孔質シリコンを形成する装置です。
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【特長】
■用途に合わせたカスタマイズが可能で研究開発等に適しています。
■オプションにより薬液供給・回収機能、濃度計等選択出来ます。
■陽極酸化治具は各種サイズに応じてご提案致します。
■用途に合わせたカスタマイズが可能で研究開発等に適しています。
■オプションにより薬液供給・回収機能、濃度計等選択出来ます。
■陽極酸化治具は各種サイズに応じてご提案致します。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 半導体製造工程、電子材料製造工程、等 |
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株式会社ダルトン
