株式会社ダルトン

HFEベーパー乾燥装置

最終更新日: 2023-05-15 13:45:05.0

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安全性を十分考慮した製品

ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを均一に沸騰させ、槽内に均一なベーパーを発生させることができます。

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【特長】
■ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを均一に沸騰させ、槽内に均一なベーパーを発生させることができます。
■各基板の全面に、均一にHFE ベーパーが凝縮する為、全ての基板において均一な乾燥処理を行うことができます。
■石英槽ですので金属溶質も有りません。
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用途/実績例 半導体製造工程、電子材料製造工程、等

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