最終更新日:
2023-11-21 09:17:00.0
超小型パッケージ 1.0 × 0.8 mm、1.2 × 1.0 mm に対応した気密検査装置です
「 MSX-7000 series 」は小型電子部品、水晶振動子、MEMS・光デバイス、各種センサなど、密封パッケージ品の気密検査装置です。
新しい機構により、初めて 1.0 × 0.8 mmサイズの検査を実現し、画像処理を用いた位置補正で搬送精度が向上しました。
ボンビング、グロス／ファインリークテストを一台で完結できます。
【特長】
■新しい機構により、初めて 1.0 × 0.8 mmサイズの検査を実現
■画像処理を用いた位置補正で搬送精度向上
■グロスリーク感度を 8.5×10⁻⁸Pa・m³/s まで高精度化
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【標準装備】
■HEPAフィルタ
■ドライ真空ポンプ
■エアドライヤ
■レギュレータ
■シグナルタワー
■フィルタレギュレータユニット
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