最終更新日:
2023-11-21 09:17:00.0
高精度・高圧測定に最適な「ヘリウムリークテストシステム」 真空チャンバ法と大気圧チャンバ法の２種類の計測方式から選択可能です
専用機として製作するヘリウム検査装置を、自由度の高い標準システムとしてご提供することで、価格を抑えています。
計測方式は真空チャンバ法と大気圧チャンバ法の２種類からお選び頂けます。
本体ユニットの標準化により、フルオーダー製品よりも仕様の選択が簡単です。
ヘリウムガスの消費量を抑制し、制御するガス回収ユニットをご提案しています。またガス回収ユニットに希釈したヘリウムガスでの検査を可能とするブレンダや高圧測定用の増圧ユニットを組合わせることも可能です。
ヘリウムリークテストシステムにエアリークテストを組合わせることで、ヘリウムディテクタに負担がかかりライン停止の原因のひとつとなる大漏れ確認工程の精度を大きく上げることもできます。
【特長】
■様々なワーク、スペックに対応
■ワーク形状のチャンバにより高精度・高速測定
■希釈ヘリウムガスも対応可
■ヘリウムガス回収増圧ユニットあり（オプション）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【測定方式】
＜真空チャンバ法＞
■ワーク内、チャンバ内真空引き（ワーク大漏れ確認）
■チャンバ内バックグランド確認
■ワーク内ヘリウムガス加圧
■検出（真空状態）
＜大気圧チャンバ法＞
■ワーク内真空引き（ワーク大漏れ確認）
■ワーク内ヘリウムガス加圧
■チャンバ内ヘリウムガス堆積
■検出（チャンバ内吸引）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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