株式会社フクダ

スーパー電空レギュレータ『APUシリーズ』

最終更新日: 2023-11-21 09:17:00.0
電圧制御により圧力を自由自在にコントロール!小流量から大流量まで幅広いラインアップ

「APUシリーズ」は、外部圧力センサからのフィードバックにより瞬時に圧力・流量をコントロールする電空レギュレータです。

制御再現性:±0.1 % 応答性:0.5 s *使用条件による参考値

「APU-508W」をはじめ、「APU-520W」「APU-70W」など、必要とする流量や圧力にあわせた豊富なバリエーションからご選定いただけます。

【特長】
■電圧制御により連続的に圧力・流量をコントロール
■外部圧力センサによりワーク直前の圧力監視可能
■ΔP制御や定差圧制御を可能とした外部圧力センサ
■小流量から大流量まで幅広いラインアップ
■用途に応じて、正圧、負圧、連成圧から選択可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【ラインアップ(抜粋)】
■APU-508W
■APU-514W
■APU-520W
■APU-70W
■APU-90W
■APU-120W
■APU-130W
■APU-220P
■APU-300V
■APU-300P

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【アプリケーション】
■高精度流量測定(定差圧コントロール)
■高精度荷重コントロール
■各種センサ性能試験、各種センサの総合検定に
■ウェハーテストのプロービング

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